High Purity / Ultra-Feinstreinigung
ENGL. High Purity / Ultra-Fine Purification
High Purity ist ein anwendungsspezifisch definierter Höchstreinheitszustand. Er umfasst je nach Einsatz partikuläre, filmische, ionische und weitere Rückstände und erfordert eine kontrollierte Prozesskette bis zur Verpackung.
Was ist High Purity / Ultra-Feinstreinigung?
High Purity bezeichnet einen besonders hohen und anwendungsspezifisch definierten Reinheitszustand von Bauteilen und Oberflächen. Im Unterschied zu einer ausschließlich partikulären Betrachtung umfasst High Purity häufig mehrere Kontaminationsarten gleichzeitig: Partikel bis in den Submikrometerbereich, organisch-filmische Rückstände, ionische Verunreinigungen, Feuchtigkeit sowie je nach Anwendung mikrobiologische Belastungen oder Ausgasungen. Entscheidend ist nicht eine allgemeingültige Sauberkeitsklasse, sondern die funktionale Spezifikation des späteren Einsatzes. Reinigungs-, Spül-, Trocknungs-, Handhabungs- und Verpackungsprozess müssen deshalb als durchgängiges, kontrolliertes Gesamtsystem ausgelegt werden.
Bedeutung / Einsatz
High-Purity-Reinigung wird insbesondere in Halbleitertechnik, Medizintechnik, Optik, Vakuumtechnik, Luft- und Raumfahrt sowie bei sensiblen Energie- und Elektronikanwendungen benötigt. Schon geringste Rückstände können Beschichtungen, Benetzbarkeit, elektrische Eigenschaften, Vakuumverhalten, optische Qualität oder Biokompatibilität beeinträchtigen.
Entscheidende Auswahlkriterien
- Funktionale Reinheitsspezifikation
- Art und Nachweisgrenze der Kontamination
- Werkstoff und Oberflächenzustand
- Reinstwasser- und Prozessgasqualität
- hermetisch geschlossene Prozessführung
- Cross-Kontamination
- Reinraumübergabe
- Filtration
- validierte Trocknung
- qualifizierte Verpackung und Rückverfolgbarkeit